Design and Manufacturing of Active Microsystems - Microtechnology and MEMS - Stephanus Buttgenbach - Livros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642267383 - 21 de março de 2014
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Stephanus Buttgenbach

Design and Manufacturing of Active Microsystems - Microtechnology and MEMS 2011 edition

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This book presents the design and manufacturing of microsystems as well as necessary key technologies developed within the Collaborative Research Center 516. The research efforts of this collaboration are focused on active micro systems which are based on the electromagnetic actuator principle.

444 pages, biography

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 21 de março de 2014
Data do lançamento original 2013
ISBN13 9783642267383
Editoras Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 444
Dimensões 155 × 235 × 24 mm   ·   635 g
Idioma Alemão  
Editor Burisch, Arne
Editor Buttgenbach, Stephanus
Editor Hesselbach, Jurgen
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