Micromachining - Lydia Anggraini - Livros - - 9781090363268 - 13 de março de 2019
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Lydia Anggraini
Micromachining

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This book describe how nanoscale resist patterns technology were machined or fabricated on a silicon substrate using a scanning probe microscope (SPM) based on nanolithography (SPNL). The advantage by using this technology is the low cost of nanopatterning device technology can be created, where an atomic force microscope (AFM) is used. Conventional SPNL directly writes nanopatterns using a single probe cantilever.

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 13 de março de 2019
ISBN13 9781090363268
Páginas 82
Dimensões 216 × 279 × 5 mm   ·   285 g
Idioma Inglês  

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