Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems - Francis E H Tay - Livros - Springer-Verlag New York Inc. - 9781402071751 - 31 de agosto de 2002
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Francis E H Tay
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems 2002 edition

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Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.

299 pages, biography

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 31 de agosto de 2002
ISBN13 9781402071751
Editoras Springer-Verlag New York Inc.
Páginas 299
Dimensões 155 × 235 × 19 mm   ·   712 g
Idioma Inglês  
Editor Tay, Francis E. H.

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