Process Variations in Microsystems Manufacturing - Microsystems and Nanosystems - Michael Huff - Livros - Springer Nature Switzerland AG - 9783030405588 - 10 de abril de 2020
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Process Variations in Microsystems Manufacturing - Microsystems and Nanosystems 1st ed. 2020 edition

Michael Huff

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Process Variations in Microsystems Manufacturing - Microsystems and Nanosystems 1st ed. 2020 edition

This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps.

521 pages, 24 Illustrations, color; 212 Illustrations, black and white; XIX, 521 p. 236 illus., 24 i

Mídia Livros     Hardcover Book   (Livro com lombada e capa dura)
Lançado 10 de abril de 2020
ISBN13 9783030405588
Editoras Springer Nature Switzerland AG
Páginas 521
Dimensões 934 g
Idioma German  
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