Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of VLSI Manufacturing - Takeshi Hattori - Livros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642082726 - 7 de dezembro de 2010
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Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of VLSI Manufacturing Softcover reprint of hardcover 1st ed. 1998 edition

Takeshi Hattori

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Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers: Secrets of VLSI Manufacturing Softcover reprint of hardcover 1st ed. 1998 edition

This book thus opens the door to the manufacturing of reliable nanoscale devices and will be extremely useful for every engineer, physicist and technician involved in the production of silicon semiconductor devices.

648 pages, 345 black & white illustrations, biography

Mídia Livros     Paperback Book   (Livro de capa flexível e brochura)
Lançado 7 de dezembro de 2010
ISBN13 9783642082726
Editoras Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 616
Dimensões 155 × 235 × 36 mm   ·   934 g
Idioma German  
Tradutor Hattori, T.
Tradutor Heusler, S.
Tradutor Webb, J.P.

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